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成果：一种硅基三维微电池纳米电极结构
一、项目简介
硅基材料，作为集成电路( IC) 、微纳电子机械系统（M/NEMS） 以及气体各类微电子器件制备的主要材料，具有材料来源丰富、价格低廉、加工过程标准化和成熟度高等优点，因而在各类电子器件或者材料结构中应用广泛。本项目涉及的一种瓶状六角形硅及硅基复合三维阵列结构的相关技术，可拓展应用于各种异质材料制备、器件性能提升等方面，在能源、电子信息、食品、生物、医药、环境监测等领域发挥重要作用。
合作方式：技术转让或联合生产
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