成果：谐振式压力传感器
一、项目简介
MEMS 压力传感器是基于 MEMS 工艺，把被测压力作用下膜的形变通过一定的规律转换成电信号的一种测压装置，众多 MEMS 压力传感器中，直接输出频率量的谐振式MEMS 压力传感器具有最高的测量精度。高精度谐振式 MEMS 压力传感器在航天航空领域具有极大的用途。在飞机上，为了获得飞行的高度、速度等大气数据，通常需要测量压力。同时其在卫星和火箭发动控制系统、大气和宇宙数据检测系统中也是迫切需要的传感器，在国内外都有相当大的市场，在我国军事领域，谐振式 MEMS 压力传感器因其性能优越亦逐步应用到航天、航空、装甲车、舰艇等各兵种装备中。
合作方式：技术转让或联合生产
