成果：高精度MEMS 陀螺仪
一、项目简介
陀螺仪是一种将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比电信号的测速装置。伴随着微机电系统（MEMS）技术的发展，20 世纪 90 年代初诞生了基于哥氏效应的电容式MEMS 陀螺仪，实现了小型化和批量化的目标。相比于传统商业化的光学以及动力调谐陀螺，具有成本低、体积小、重量轻、功耗小和容易集成等优点，广泛应用于电子消费类产品中。
我国微机械电容式MEMS 陀螺仪研究起步较晚，与国外同类型陀螺仪还存在不小差距。制约国内微机械陀螺仪整体性能的关键原因是传感器精度低、稳定性差，易受到正交耦合误差与漂移误差的影响。本项目基于对陀螺仪性能的影响因素的来源及其相互作用关系的分析， 为实现高性能电容式MEMS 陀螺仪必须突破如下两个方面的关键技术： 一是高谐振频率、大品质因数谐振器结构的获得是实现高性能 MEMS 陀螺仪的基础，二是强环境免疫能力的结构设计和工艺方案是实现高性能MEMS 陀螺仪的保证。
合作方式：技术转让或联合生产
