成果：SiC 高温压力传感器
一、项目简介
SiC 高温压力传感器由于碳化硅材料具有的带宽度宽的特点，在其耐高温、抗辐射性能上都有良好的特性。得益于碳化硅材料的微电子工艺的发展，以碳化硅为材料的高温压力传感器越来越多的出现在高温测量领域。在压力测量方面，相比于压阻式和光学式压力传感器， 电容式压力传感器更是具有灵敏度高、温度稳定性好、动态响应快等优点。项目组采用 SiC 材料为基础的电容式压力传感器，在加工工艺上已突破了绝大部分关键工艺，实现了样机的批量化集成化制作。
合作方式：技术转让或联合生产
